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真空探针台可实现高真空情况下的高温及低温电学性能丈量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；凭据测试温度规模差别，可单选高温或低温等相应组件，温度可抵达1000℃，低温部分接纳液氮或液氦冷却组件，温度可低至77K/10K，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可抵达10-3Torr或10-6Tor。
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